フラットパネルディスプレイ対応マニュアル・プローバーHMP-FPD series

フラットパネルディスプレイ対応マニュアルプローバー

小型~中型サイズ(400mm□)のフラットパネルディスプレイデバイス対応のマニュアルプローバーをカスタム製作でご提供します。広範囲な顕微鏡可動とプロービングエリアにより、パネル面全エリアでの安定プロービングに対応できます。

角型パネルチャックは加熱タイプ(~+200℃)またはサーマルタイプ(-40℃~+200℃)が選択でき、全温度帯においてfAレベルの微小電流測定、Sub pFレベルのC-V測定に対応します。

また、ソーラシミュレータや分光光源などによるパネル表面への光照射、高輝度白色LEDによるパネル裏面(バックライト)への光照射測定に対応できます。

システム構築例


HMP-800FPD 200mm角パネル対応モデル
サブミクロンプロービング仕様

HMP-1600FPD 400mm角パネル対応モデル
サブミクロンプロービング仕様

パネルディスプレイデバイスの電気測定に必要な
広範囲プロービングエリア

ソーラーシミュレータや分光光源などによる
パネル表面光照射

高輝度白色LEDによるパネル裏面への光照射
(~40,000cd/cm2)

YAGレーザーカッティングシステム搭載
(発振波長:1064,532,355,266 nm)

代表仕様

項目 HMP-800FPD HMP-1600FPD
対応パネルサイズ ~ 200×200 mm ~ 400×400 mm
ステージXY移動範囲(粗動) X:210mm,Y:300mm X:410mm,Y:500mm
ステージXY移動範囲(微動) XY:13mm/マイクロメータヘッド
ステージθ移動範囲 粗動 ±10°, 微動 ±2.5°
顕微鏡XY移動範囲(粗微動) X:210mm,Y:210mm
プラテンZ軸アクション 0 – 0.3mm
プラテンZ軸調整範囲 0~15mm
システム寸法(W×D×H)※ 1600 × 1070 × 1885 mm 1250 × 1310 × 1885 mm
システム重量※ 約680kg 約850kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

(順不同、敬称略)

  • キーサイト・テクノロジー(株)
  • テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
  • (株)エヌエフ回路設計ブロック
  • ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
  • 日置電機(株)
  • 岩崎通信機(株)
  • (株)エーディーシー
  • (株)テクシオ・テクノロジー
    他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数

カタログダウンロード(PDF)

お問い合わせ

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

  • 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
  • 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
  • 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
  • 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。