フラットパネルディスプレイ対応マニュアル・プローバーHMP-FPD series

フラットパネルディスプレイ対応マニュアルプローバー

小型～中型サイズ(400mm□)のフラットパネルディスプレイデバイス対応のマニュアルプローバーをカスタム製作でご提供します。広範囲な顕微鏡可動とプロービングエリアにより、パネル面全エリアでの安定プロービングに対応できます。

角型パネルチャックは加熱タイプ(～+200℃)またはサーマルタイプ（-40℃～+200℃）が選択でき、全温度帯においてfAレベルの微小電流測定、Sub pFレベルのC-V測定に対応します。

また、ソーラシミュレータや分光光源などによるパネル表面への光照射、高輝度白色LEDによるパネル裏面（バックライト）への光照射測定に対応できます。

システム構築例

HMP-800FPD 200mm角パネル対応モデル
サブミクロンプロービング仕様

HMP-1600FPD 400mm角パネル対応モデル
サブミクロンプロービング仕様

パネルディスプレイデバイスの電気測定に必要な
広範囲プロービングエリア

ソーラーシミュレータや分光光源などによる
パネル表面光照射

高輝度白色LEDによるパネル裏面への光照射
（～40,000cd/cm2）

YAGレーザーカッティングシステム搭載
（発振波長：1064,532,355,266 nm）

代表仕様

項目	HMP-800FPD	HMP-1600FPD
対応パネルサイズ	～ 200×200 mm	～ 400×400 mm
ステージXY移動範囲（粗動）	X：210mm，Y：300mm	X：410mm，Y：500mm
ステージXY移動範囲（微動）	XY：13mm/マイクロメータヘッド
ステージθ移動範囲	粗動 ±10°, 微動 ±2.5°
顕微鏡XY移動範囲（粗微動）	X：210mm，Y：210mm
プラテンZ軸アクション	0 – 0.3mm
プラテンZ軸調整範囲	0～15mm
システム寸法（W×D×H）※	1600 × 1070 × 1885 mm	1250 × 1310 × 1885 mm
システム重量※	約680kg	約850kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

ポジショナ（マニピュレータ）
プローブ・プローブアーム

プローブ・チップ
マニュアルプローバー用シールド遮光ボックス

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有計測器メーカー様

（順不同、敬称略）

キーサイト・テクノロジー(株)
テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
(株)エヌエフ回路設計ブロック
ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
日置電機(株)
岩崎通信機(株)
(株)エーディーシー
(株)テクシオ・テクノロジー
他多数

インテグレーション実績有ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他多数

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