フラットパネルディスプレイ対応マニュアル・プローバーHMP-FPD series

フラットパネルディスプレイ対応マニュアルプローバー

小型~中型サイズ(400mm□)のフラットパネルディスプレイデバイス対応のマニュアルプローバーをカスタム製作でご提供します。広範囲な顕微鏡可動とプロービングエリアにより、パネル面全エリアでの安定プロービングに対応できます。

角型パネルチャックは加熱タイプ(~+200℃)またはサーマルタイプ(-40℃~+200℃)が選択でき、全温度帯においてfAレベルの微小電流測定、Sub pFレベルのC-V測定に対応します。

また、ソーラシミュレータや分光光源などによるパネル表面への光照射、高輝度白色LEDによるパネル裏面(バックライト)への光照射測定に対応できます。

システム構築例


HMP-800FPD 200mm角パネル対応モデル
サブミクロンプロービング仕様

HMP-1600FPD 400mm角パネル対応モデル
サブミクロンプロービング仕様

パネルディスプレイデバイスの電気測定に必要な
広範囲プロービングエリア

ソーラーシミュレータや分光光源などによる
パネル表面光照射

高輝度白色LEDによるパネル裏面への光照射
(~40,000cd/cm2)

YAGレーザーカッティングシステム搭載
(発振波長:1064,532,355,266 nm)

代表仕様

項目 HMP-800FPD HMP-1600FPD
対応パネルサイズ ~ 200×200 mm ~ 400×400 mm
ステージXY移動範囲(粗動) X:210mm,Y:300mm X:410mm,Y:500mm
ステージXY移動範囲(微動) XY:13mm/マイクロメータヘッド
ステージθ移動範囲 粗動 ±10°, 微動 ±2.5°
顕微鏡XY移動範囲(粗微動) X:210mm,Y:210mm
プラテンZ軸アクション 0 – 0.3mm
プラテンZ軸調整範囲 0~15mm
システム寸法(W×D×H)※ 1600 × 1070 × 1885 mm 1250 × 1310 × 1885 mm
システム重量※ 約680kg 約850kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)

E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

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