
マニュアルプローバーのスタンダードモデル
スタンダードマニュアルプローバー HMP-800 / 1200
8インチウェハまたは12インチウェハに対応するスタンダードマニュアルプローバーです。
高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
ホットチャック(室温~+200℃ / +300℃)や、サブミクロン分解能ステージ、レーザーカッターなど、幅広いアプリケーションに対応する拡張性を備えた、マニュアルプローバーのスタンダードモデルです。


実体顕微鏡搭載モデル

金属顕微鏡搭載モデル
アプリケーション
- +20℃ ~ +300℃ 範囲の温度特性試験
- 微小信号 I-V測定(fA レベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V,HF-CV,RF-CV)
- RF測定(~67GHz)
- 超高速 I-V測定
拡張アプリケーション
- プローブカード対応 (マルチサイトWLR対応可)
- レーザーカッターの搭載 (ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
- 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
- オプティカルデバイス(LED,LD,VCSEL,PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
- フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト
- ハイパワーデバイス測定(400A Pulse,±3kV triaxial,±10kV coaxial)
- ウエハレベル信頼性試験(EM,TDDB,HCI,NBTI,BTなど)
システム構成例

金属顕微鏡搭載モデル
+20℃~+300℃ホットチャック付属

レーザーカッター搭載モデル
(ポイントマーキング、配線カット、保護膜除去など)

高性能実体顕微鏡搭載モデル
プローブカードアダプタ付
代表仕様
対応ウエハサイズ~φ200mm~φ300mm
項目 | HMP-800 | HSP-1200 |
---|---|---|
ステージXY移動範囲(祖動) | X:205mm,Y:300mm | X:305mm,Y:400mm |
ステージXY移動範囲(微動) | XY 各 ±6.5mm | |
ステージθ移動範囲 | ±30° | |
プラテンZ軸アクション | 0 – 20mm フリー | |
ステージZ軸調整範囲 | 0 ~ 15mm | |
システム寸法(W×D×H)※ | 550 × 650 × 450 mm | 690 × 780 × 450 mm |
システム重量※ | 約 60 kg | 約 80 kg |
※システムの構成により変動します。
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