スタンダード マニュアル・プローバーHMP-800(8 inch)/HMP-1200(12 inch)

マニュアル・プローバーのスタンダードモデル

8インチ(200mm)ウエハまたは、12インチ(300mm)ウエハに対応した、スタンダードタイプのマニュアルプローブシステムです。

高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。

自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。

+15℃~+300℃ (特殊オプション+400℃) の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。

またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。

・ HMP-800:8インチ (φ200mm) 対応
・ HMP-1200:12インチ (φ300mm) 対応

アプリケーション

  • +15℃~+300℃範囲の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
  • RF測定(~67GHz)
  • 超高速I-V測定

拡張アプリケーション

  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)
  • レーザーカッターの搭載(ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
  • 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
  • オプティカルデバイス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
  • ハイパワーデバイス測定(200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial)※8インチモデル
  • ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど)

システム構築例


HMP-800EA 200mmプローブ・ステーション
PADプロービング対応 実体顕微鏡モデル

HMP-800HS 200mmプローブ・ステーション
サブミクロンプロービング 金属顕微鏡モデル

HMP-1200EA 300mmプローブ・ステーション
PADプロービング対応実体顕微鏡モデル

HMP-1200HS 300mmプローブ・ステーション
サブミクロンプロービング金属顕微鏡モデル

YAGレーザーカッティングシステム搭載・
ハイパワーデバイス対応

代表仕様

項目 HMP-800 HMP-1200
ステージXY移動範囲(粗動) X : 210mm, Y : 300mm X : 310mm, Y : 400mm
ステージXY移動範囲(微動) XY 各±6.5mm
ステージθ移動範囲 粗動 ±30°, 微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション 0 –20mm フリー
ステージZ軸調整範囲 0 ~15mm
システム寸法(W×D×H)※ 550 ×650 ×450 mm 750 ×780 ×450 mm
システム重量※ 約60 kg 約95 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B1505A
パワーデバイス・アナライザ・カーブトレーサ
B2200A/01A
低リーク・スイッチ

カタログダウンロード(PDF)

お問い合わせ

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

  • 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
  • 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
  • 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
  • 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。