スタンダードマニュアルプローバー
HMP-800(8インチ)/HMP-1200(12インチ)

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マニュアルプローバーのスタンダードモデル

スタンダードマニュアルプローバー HMP-800 / 1200
HMP800-01
8インチウェハまたは12インチウェハに対応するスタンダードマニュアルプローバーです。
高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
ホットチャック(室温~+200℃ / +300℃)や、サブミクロン分解能ステージ、レーザーカッターなど、幅広いアプリケーションに対応する拡張性を備えた、マニュアルプローバーのスタンダードモデルです。

keysite-logo2ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の認定ソリューションパートナーです。
HMP800-02
実体顕微鏡搭載モデル
HMP800-03
金属顕微鏡搭載モデル

アプリケーション

  • +20℃ ~ +300℃ 範囲の温度特性試験
  • 微小信号 I-V測定(fA レベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V,HF-CV,RF-CV)
  • RF測定(~67GHz)
  • 超高速 I-V測定

拡張アプリケーション

  • プローブカード対応 (マルチサイトWLR対応可)
  • レーザーカッターの搭載 (ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
  • 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
  • オプティカルデバイス(LED,LD,VCSEL,PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト
  • ハイパワーデバイス測定(400A Pulse,±3kV triaxial,±10kV coaxial)
  • ウエハレベル信頼性試験(EM,TDDB,HCI,NBTI,BTなど)

システム構成例

HMP800-04
金属顕微鏡搭載モデル
+20℃~+300℃ホットチャック付属
HMP-800-5
レーザーカッター搭載モデル
(ポイントマーキング、配線カット、保護膜除去など)
HMP-800-6
高性能実体顕微鏡搭載モデル
プローブカードアダプタ付

代表仕様

対応ウエハサイズ~φ200mm~φ300mm

項目 HMP-800 HSP-1200
ステージXY移動範囲(祖動) X:205mm,Y:300mm X:305mm,Y:400mm
ステージXY移動範囲(微動) XY 各 ±6.5mm
ステージθ移動範囲 ±30°
プラテンZ軸アクション 0 – 20mm フリー
ステージZ軸調整範囲 0 ~ 15mm
システム寸法(W×D×H)※ 550 × 650 × 450 mm 690 × 780 × 450 mm
システム重量※ 約 60 kg 約 80 kg

※システムの構成により変動します。

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