マニュアル・プローバーのスタンダードモデル
8インチ（200mm）ウエハまたは、12インチ（300mm）ウエハに対応した、スタンダードタイプのマニュアルプローブシステムです。
高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。
+15℃～+300℃ (特殊オプション+400℃) の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。
・ HMP-800：8インチ (φ200mm) 対応
・ HMP-1200：12インチ (φ300mm) 対応
アプリケーション
- ＋15℃～+300℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
- RF測定(～67GHz)
- 超高速I-V測定
拡張アプリケーション
- プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
- レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット）
- 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
- オプティカルデバイス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
- フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
- ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）※8インチモデル
- ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）
システム構築例
HMP-800EA 200mmプローブ・ステーション
PADプロービング対応 実体顕微鏡モデル
HMP-800HS 200mmプローブ・ステーション
サブミクロンプロービング 金属顕微鏡モデル
HMP-1200EA 300mmプローブ・ステーション
PADプロービング対応実体顕微鏡モデル
HMP-1200HS 300mmプローブ・ステーション
サブミクロンプロービング金属顕微鏡モデル
YAGレーザーカッティングシステム搭載・
ハイパワーデバイス対応
代表仕様
| 項目 | HMP-800 | HMP-1200 |
|---|---|---|
| ステージXY移動範囲（粗動） | X : 210mm, Y : 300mm | X : 310mm, Y : 400mm |
| ステージXY移動範囲（微動） | XY 各±6.5mm | |
| ステージθ移動範囲 | 粗動 ±30°, 微動 ±2.5° | |
| プラテンZ軸アクション | 0 –20mm フリー | |
| ステージZ軸調整範囲 | 0 ～15mm | |
| システム寸法（W×D×H）※ | 550 ×650 ×450 mm | 750 ×780 ×450 mm |
| システム重量※ | 約60 kg | 約95 kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。
各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。
ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A半導体デバイス・アナライザ
B1505Aパワーデバイス・アナライザ・カーブトレーサ
B2200A/01A低リーク・スイッチ
カタログダウンロード（PDF）
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