マニュアルプローバーのスタンダードモデル
スタンダードマニュアルプローバー HMP-800 / 1200
8インチウェハまたは12インチウェハに対応するスタンダードマニュアルプローバーです。
高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
ホットチャック（室温～+200℃ / +300℃）や、サブミクロン分解能ステージ、レーザーカッターなど、幅広いアプリケーションに対応する拡張性を備えた、マニュアルプローバーのスタンダードモデルです。
ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
実体顕微鏡搭載モデル
金属顕微鏡搭載モデル
アプリケーション
- +20℃ ～ +300℃ 範囲の温度特性試験
- 微小信号 I-V測定（fA レベル）
- 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV）
- RF測定（～67GHz）
- 超高速 I-V測定
拡張アプリケーション
- プローブカード対応 （マルチサイトWLR対応可）
- レーザーカッターの搭載 （ポイントマーキング，保護膜剥離，配線カット）
- 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
- オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
- フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト
- ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial）
- ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど）
システム構成例
金属顕微鏡搭載モデル
+20℃～+300℃ホットチャック付属
レーザーカッター搭載モデル
（ポイントマーキング、配線カット、保護膜除去など）
高性能実体顕微鏡搭載モデル
プローブカードアダプタ付
代表仕様
対応ウエハサイズ～φ200mm～φ300mm
| 項目 | HMP-800 | HSP-1200 |
|---|---|---|
| ステージXY移動範囲（祖動） | X：205mm，Y：300mm | X：305mm，Y：400mm |
| ステージXY移動範囲（微動） | XY 各 ±6.5mm | |
| ステージθ移動範囲 | ±30° | |
| プラテンZ軸アクション | 0 – 20mm フリー | |
| ステージZ軸調整範囲 | 0 ～ 15mm | |
| システム寸法（W×D×H）※ | 550 × 650 × 450 mm | 690 × 780 × 450 mm |
| システム重量※ | 約 60 kg | 約 80 kg |
※システムの構成により変動します。
カタログダウンロード（PDF）
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