マニュアル・プローバーのスタンダードモデル
8インチ(200mm)ウエハまたは、12インチ(300mm)ウエハに対応した、スタンダードタイプのマニュアルプローブシステムです。
高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。
+15℃~+300℃ (特殊オプション+400℃) の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。
・ HMP-800:8インチ (φ200mm) 対応
・ HMP-1200:12インチ (φ300mm) 対応
アプリケーション
- +15℃~+300℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
- RF測定(~67GHz)
- 超高速I-V測定
拡張アプリケーション
- プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)
- レーザーカッターの搭載(ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
- 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
- オプティカルデバイス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
- フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
- ハイパワーデバイス測定(200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial)※8インチモデル
- ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど)
システム構築例
代表仕様
項目 | HMP-800 | HMP-1200 |
---|---|---|
ステージXY移動範囲(粗動) | X : 210mm, Y : 300mm | X : 310mm, Y : 400mm |
ステージXY移動範囲(微動) | XY 各±6.5mm | |
ステージθ移動範囲 | 粗動 ±30°, 微動 ±2.5° | |
プラテンZ軸アクション | 0 –20mm フリー | |
ステージZ軸調整範囲 | 0 ~15mm | |
システム寸法(W×D×H)※ | 550 ×650 ×450 mm | 750 ×780 ×450 mm |
システム重量※ | 約60 kg | 約95 kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
(順不同、敬称略)
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数
カタログダウンロード(PDF)
お問い合わせ
フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。
恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。
個人情報保護方針(プライバシーポリシー)
- 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
- 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
- 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
- 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。