マニュアルプローバーのスタンダードモデル

スタンダードマニュアルプローバー　HMP-800 / 1200

8インチウェハまたは12インチウェハに対応するスタンダードマニュアルプローバーです。
高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
ホットチャック（室温～+200℃ / +300℃）や、サブミクロン分解能ステージ、レーザーカッターなど、幅広いアプリケーションに対応する拡張性を備えた、マニュアルプローバーのスタンダードモデルです。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の認定ソリューションパートナーです。

実体顕微鏡搭載モデル

金属顕微鏡搭載モデル

アプリケーション

• +20℃ ～ +300℃ 範囲の温度特性試験
• 微小信号 I-V測定（fA レベル）
• 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV）
• RF測定（～67GHz）
• 超高速 I-V測定

拡張アプリケーション

• プローブカード対応 （マルチサイトWLR対応可）
• レーザーカッターの搭載 （ポイントマーキング，保護膜剥離，配線カット）
• 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
• オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
• フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト
• ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial）
• ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど）

システム構成例

金属顕微鏡搭載モデル
+20℃～+300℃ホットチャック付属

レーザーカッター搭載モデル
（ポイントマーキング、配線カット、保護膜除去など）

高性能実体顕微鏡搭載モデル
プローブカードアダプタ付

代表仕様

対応ウエハサイズ～φ200mm～φ300mm

※システムの構成により変動します。

カタログダウンロード（PDF）

ハイソルプローブ
システム総合カタログ