記載のチャック以外にも、ガラスサブストレート用角型チャックや、特殊センサー用チャックなど様々なご用途に対応致します。
標準ウェハチャック
室温チャック
各ウェハサイズに対応する室温ウエハチャック。
スタンダードタイプ（Coaxial） HCシリーズおよび、ローノイズ・ローリーク測定に対応するトライアキシャルタイプ HTCシリーズをご用意しております。バックゲート等デバイス裏面へのバイアス印可や、縦型デバイスの測定に対応できます。
| スタンダードチャック（Coaxial） | |
|---|---|
| 型式 | 対応ウエハサイズ |
| HC20 | 2インチ |
| HC40 | 4インチ |
| HC60 | 6インチ |
| HC80 | 8インチ |
| HC120 | 12インチ |
| トライアキシャルチャック | |
|---|---|
| 型式 | 対応ウエハサイズ |
| HTC20 | 2インチ |
| HTC40 | 4インチ |
| HTC60 | 6インチ |
| HTC80 | 8インチ |
| HTC120 | 12インチ |
汎用高温チャック
各ウェハサイズに対応する高温対応ウエハチャックです。
+200℃仕様のHAシリーズと、+300℃仕様のHA-Hシリーズをご用意しております。
スタンダードタイプ（Coaxial） および、ローノイズ・ローリーク測定に対応するトライアキシャルタイプ を選択して頂けます。いずれもヒーター用の電源はシリーズ式DC電源を採用しており低ノイズです。
バックゲート等デバイス裏面へのバイアス印可や、縦型デバイスの測定に対応できます。
| 型式 | 対応ウエハサイズ | 温度制御範囲 | 加熱方式 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|
| HA40 | 4インチ | R.T.～+200℃ | ヒーター （DC制御） |
自然冷却 または 圧縮エア供給 |
| HA60 | 6インチ | |||
| HA80 | 8インチ | |||
| HA40H | 4インチ | R.T.～+300℃ | ||
| HA60H | 6インチ | |||
| HA80H | 8インチ |
加吸熱チャック（強制空冷式）
加熱冷却源としてペルチェ素子を採用した加吸熱チャックです。
ペルチェユニットの冷却に空冷ファンを採用しており、冷却水循環装置が不要です。
昇温、降温の応答性に優れた使い勝手のよい加吸熱チャックです。
| 型式 | 対応ウエハサイズ | 温度制御範囲 | 加熱方式 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|
| HPE40+10 | 4インチ | +10℃～+120℃ ＋10℃～+110℃※ |
ペルチェ | ペルチェ （強制空冷） |
| HPE60+10 | 6インチ |
※Triaxial仕様
加吸熱チャック（水冷式）
-40℃～+125℃の広域温度範囲に対応するペルチェ式加吸熱チャックです。
（冷却水循環装置付属）
| 型式 | 対応ウエハサイズ | 温度制御範囲 | 加熱方式 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|
| HPE40-40 | 4インチ | -40℃～+125℃ | ペルチェ | ペルチェ （水冷） |
| HPE60-40 | 6インチ |
高性能 高温チャック，高低温チャック
高度な温度制御技術、低ノイズ・低リーク技術を結集した、高性能 高温チャックおよび高低温チャックシステムです。
高速な温度上昇・下降、優れたチャックトップ平面度、温度分布精度などの特長を有しており、高精度温度特性試験やウエハレベル信頼性試験に対応できます。
標準チャックサイズ
- φ155mm （6インチ）
- φ205mm （8インチ）
- φ305mm （12インチ）
| 型式 | 温度制御範囲 | 加熱方式 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|
| -A | R.T.～+200℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
| -AC | +20℃ ～+200℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
| -AH | R.T.～+300℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
| -ACH | +20℃ ～+300℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
| -C | -40℃ ～+200℃ | ヒーター | 冷凍機+圧縮空気 |
| -CL | -60℃ ～+200℃ | ヒーター | 冷凍機+圧縮空気 |
| -CH | -40℃ ～+300℃ | ヒーター | 冷凍機+圧縮空気 |
| -CLH | -60℃ ～+300℃ | ヒーター | 冷凍機+圧縮空気 |
| -M | -40℃ ～+200℃ | ヒーター | フッ素系液循環 |
| -ML | -65℃ ～+200℃ | ヒーター | フッ素系液循環 |
| -MH | -40℃ ～+300℃ | ヒーター | フッ素系液循環 |
| -MLH | -65℃ ～+300℃ | ヒーター | フッ素系液循環 |
| -HH | +30℃ ～+400℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
カスタム対応例
お客様が要求される測定アプリケーションに合わせて、カスタママイズ対応いたします。
パワーデバイス対応
高低温チャック（Triax）
パワーデバイス対応
10kV 対応高温チャック
特殊バキュームパターン対応
高周波対応チャック
非磁性高温チャック
プリント基板クランプ治具
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
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