高低温対応セミオート・プローバーHSP-200SC(8 inch)/HSP-300SC(12 inch)

-65℃~+400℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

低ノイズ、低リークを追及した次世代半導体デバイス対応のセミオートプローブシステムです。

シールドチャンバー構造による完全なEMIシールド環境内に、プローブおよびチャックが収納されており、温度制御範囲-65℃~+300℃(特殊オプション+400℃)において、極限領域での超微小信号I-V・C-V測定、1/fノイズ測定、Sパラメータ取得、RTN(ランダムテレグラフノイズ)測定、高速I-V測定などの面内自動測定に対応します。

またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。

※ 6インチウェハ対応モデルのHSP-150SCもご用意しております。

・ HSP-200SC:8インチ (φ200mm) 対応
・ HSP-300SC:12インチ (φ300mm) 対応

アプリケーション

  • +15℃~+300℃ /+400℃ または-65℃~+300℃範囲の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
  • 1/fノイズ評価
  • RTN(ランダムテレグラフノイズ)評価
  • 高周波ノイズ評価(~800MHz)
  • RF測定(~67GHz)
  • 超高速I-V測定

拡張アプリケーション

  • N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト(露点温度-70℃、残留酸素濃度100ppm以下)
  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)
  • アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
  • オプティカルデバイス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • ハイパワーデバイス測定(200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kVcoaxial)※8インチモデル
  • ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど)※240時間以上の連続試験可能

システム構築例


DCプローブ×4,RFプローブ×2(EAST/WEST)
FETプローブ×1 構成

+300℃対応 マルチサイトWLR
プローブカード搭載

-60℃~+300℃ ウェハチャック搭載
(プルアウト機構による安全なウェハ交換)

ハイパワーデバイス温度特性評価
(-60℃~+300℃,10kV I-V,3kV C-V,200A)

セミオートプローバー制御ソフトウェア

  • 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
  • OSはWindows 10IoTEnterprise LTSBに対応しています。
  • ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
  • 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応します。
  • 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応できます。(オプション)
  • 上位測定器やPCからGP-IBコマンドにより自動制御することができます。
  • 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。(オプション)
  • ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

代表仕様

項目 HSP-200SC HSP-300SC
対応ウエハサイズ ~φ200mm ~φ300mm
ステージXY移動範囲 X:210mm,Y:210mm X:310mm, Y:310mm
ステージXY繰り返し精度 <±2um
ステージXY位置決め精度 <±5um
ステージZ移動範囲 20mm
ステージZ繰り返し精度 <±1um
ステージθ移動範囲 ±7.5°
ステージθ位置決め分解能 0.0002°
システム寸法(W×D×H)※ 1600×1100×1600 mm 1700×1200 ×1600 mm
システム重量※ 約900kg 約1100kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

標準的な自動測定対応ソフトウェア

キーサイト・テクノロジー ・EasyEXPERT group+
・WaferPro Express
・SPARK他
TFF/ケースレーインスツルメンツ ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment)
・ACS
ProPlus Design Solutions ・Noisepro

※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B1505A
パワーデバイス・アナライザ・カーブトレーサ
B2200A/01A
低リーク・スイッチ

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