スタンダード セミオート・プローバーHSP-200(8 inch)/HSP-300(12 inch)

セミオート・プローバーのスタンダードモデル

8インチ(200mm)ウエハまたは、12インチ(300mm)ウエハに対応した、スタンダードタイプのセミオートプローブシステムです。

位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。

自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。

+15℃~+300℃ (特殊オプション+400℃) の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。

・ HSP-200:8インチ (φ200mm) 対応
・ HSP-300:12インチ (φ300mm) 対応

アプリケーション

  • +15℃~+300℃範囲の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
  • RF測定(~67GHz)
  • 超高速I-V測定

拡張アプリケーション

  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)
  • レーザーカッターの搭載(ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
  • アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
  • オプティカルデバイス(LED,LD,VCSEL,PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
  • ハイパワーデバイス測定(400A Pulse,±3kV triaxial,±10kV coaxial)※8インチモデル
  • ウエハレベル信頼性試験(EM,TDDB,HCI,NBTI,BTなど)
  • ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
  • 不良ダイマーキング対応(インカー、けがき)

システム構築例


オートフォーカス光学系と画像認識アライメント
による40μm以下小PADへの安定プロービング

X-Y-Z3軸電動ポジショナによるプローブ位置
自動補正対応

ダイシングフレームやクリップリング等ダイシングフィルム上のデバイスの自動測定

チップトレイやゲルバックに搭載された個片デバイスの自動測定

セミオートプローバー制御ソフトウェア

  • 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
  • OSはWindows 10 IoT Enterprise LTSBに対応しています。
  • ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
  • 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応します。
  • 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応できます。(オプション)
  • 上位測定器やPCからGP-IBコマンドにより自動制御することができます。
  • 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。(オプション)
  • ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

代表仕様

項目 HSP-200 HSP-300
対応ウエハサイズ ~φ200mm ~φ300mm
ステージXY移動範囲 X:210mm,Y:300mm X:310mm, Y:450mm
ステージXY繰り返し精度 <±2um
ステージXY位置決め精度 <±5um
ステージZ移動範囲 20mm
ステージZ繰り返し精度 <±1um
ステージθ移動範囲 ±7.5°
ステージθ位置決め分解能 0.0002°
システム寸法(W×D×H)※ 1600×1100×1700 mm 1700×1200 ×1700 mm
システム重量※ 約700kg 約900kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

標準的な自動測定対応ソフトウェア

キーサイト・テクノロジー ・EasyEXPERT group+
・WaferPro Express
・SPARK他
TFF/ケースレーインスツルメンツ ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment)
・ACS
ProPlus Design Solutions ・Noisepro

※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B1505A
パワーデバイス・アナライザ・カーブトレーサ
B2200A/01A
低リーク・スイッチ

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