グローブボックス対応セミオート・プローバーHSP-100GB(4 inch)

有機半導体デバイス等の高純度ガス環境下 高低温オン・ウエハ特性評価に最適

※写真のグローブボックスは(株)UNICO 様の製品です。
ガス循環精製装置付きグローブボックスとセミオートプローバーをインテグレーションしたシステムをご提供いたします。

1ppm以下の酸素濃度、水分量の高純度不活性ガス環境下での高低温(-60℃ ~+300℃)オン・ウェハ自動測定に対応できます。

OFET,OTFT,OLEDなどの有機半導体デバイス、有機薄膜太陽電池 (OPV) の研究開発段階における、中規模 ~ 大規模アレイの自動測定に最適なシステムです。

オプションで素子表面への光照射機能や、発光検出器の組み込み、真空蒸着装置・製膜装置とのドッキング等カスタムソリューションに対応可能です。

アプリケーション

  • 高純度ガス置換環境下での+15℃~+300℃ / +400℃ または-60℃~+300℃範囲の温度特性試験
  • デバイス表面への光照射、デバイス発光特性評価に対応可
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
  • 各種RF測定(~67GHz)

システム概要


グローブ操作に配慮した操作系レイアウト

デバイス表面への光照射機能(オプション)
観察光学系と光照射軸の自動切替に対応

グローブボックス内の低露点(低水分量)環境
により低温チャック(> -60℃)を搭載可能

グローブボックス内に設置可能な自動開閉式
シールド遮光ボックス(シャッター開閉)

代表仕様

項目 HSP-100GB
対応ウエハサイズ ~φ100mm
ボックス内雰囲気 不活性ガス水分濃度、酸素濃度各1ppm以下
(インテグレーションするグローブボックスの仕様による)
ステージXY移動範囲 X:110mm, Y:190mm
ステージXY繰り返し精度 <±2um
ステージXY位置決め精度 <±5um
ステージZ移動範囲 20mm
ステージZ繰り返し精度 <±1um
ステージθ移動範囲 ±7.5°
ステージθ位置決め分解能 0.0002°
システム寸法(W×D×H)※ 3300×1200×2100 mm
システム重量※ 約1300kg

※標準的なグローブボックスを含む。システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

標準的な自動測定対応ソフトウェア

キーサイト・テクノロジー ・EasyEXPERTgroup+
・WaferPro Express
・SPARK他
TFF/ケースレーインスツルメンツ ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment)
・ACS
ProPlus Design Solutions ・Noisepro

※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。

セミオートプローバー制御ソフトウェア

  • ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。
  • 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
  • OSはWindows 10 IoT Enterprise LTSB に対応しています。
  • ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
  • 上位測定器やPCからGP-IBコマンドにより自動制御することができます。
  • 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応します。
  • 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応できます。(オプション)
  • 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。(オプション)

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

(順不同、敬称略)

  • キーサイト・テクノロジー(株)
  • テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
  • (株)エヌエフ回路設計ブロック
  • ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
  • 日置電機(株)
  • 岩崎通信機(株)
  • (株)エーディーシー
  • (株)テクシオ・テクノロジー
    他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数

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