4探針プローバー

※PCはセットに含まれません。

特長

  • 4探針プロービングによる、シリコンウェハ・太陽電池・LCD基板等のシート抵抗値体積抵抗率の測定装置です。
    測定するデバイスに合わせて最適なサイズのチャックをお選びいただけます。
  • 専用ソフトウェアがシート抵抗値・体積抵抗率を自動的に算出。また抵抗測定時の印加電流値をプログラム制御することにより、デバイスに過剰な電流が流れることを防止し、測定デバイスの損傷を防ぎます。
  • KEITHLEY 2401型ソースメータを、標準測定器としてご用意しております。
    測定専用ソフトウェアと合わせてご使用いただくことで、スムーズかつ高精度なシート抵抗・体積抵抗率測定が行えます。

ラインアップ

  • 2インチ~12インチのウェハや300mm角までのデバイスの測定を行うことができます。
    測定するデバイスに合わせてチャックをお選びいただけます。
  • プロービングは垂直方向に行います。プローブステージ右側にあるレバーを手動操作することでプローブが上下に移動します
  • プローブヘッドは[タングステンカーバイド]、[Gold Plated BeCu]の2種類からお選びいただけます。

SR-4シリーズ

SR-4シリーズ

プローブヘッドZ軸の位置決めを、微動で行える機構を有しているので高精度な針当てを行うことが出来ます。
コンパクトな装置設計となっており場所をとることなく測定が出来ます。

ステージのチャックサイズは、

  • 6インチ、8インチ、12インチ

から選択することができます。

SR-H1000C

SR-H1000C

低価格でシート抵抗・体積抵抗率の測定を実現する4探針プローバーです。
ステージのチャックは角型、丸型の2種類から選択できます。

チャックのサイズは、

  • 角型が150mm角、200mm角、300mm角
  • 丸型が6インチ、8インチ、12インチ

から選択することができます。

仕様表

プローブステージ

機種名 SR-4-6 SR-4-8 SR-4-12 SR-H1000C
対応サイズ ~6”
(150mmφ)
~8”
(200mmφ)
~12”
(300mmφ)
~8” または 
~200mm角
~12” または 
~300mm角
プローブヘッド
Z軸移動範囲
10mm 10mm 10mm 18mm 18mm
プローブヘッド
Z軸位置決め微動機構
× ×
外形寸法 W220×D420
×H250(mm)
W700×D800
×H300(mm)
W320×D320
×H240(mm)
W700xD700
xH300(mm)
重量 20Kg 50Kg 15Kg 40Kg
プローブヘッド 1個付属

プローブヘッド

※下記仕様表よりお使いいただくプローブの材質、ピンピッチ、針圧力、先端半径をご選択ください。
材質 ピンピッチ 針圧力 先端半径
タングステンカーバイド 40mil(1.02mm)/50mil(1.27mm)
/62. 5mil(1.59mm)
45g/85g/180g 40um
Gold Plated BeCu 1mm/62. 5mil(1.59mm) 85g 60um

測定器(KEITHLEY 2401)

桁数 5.5桁
基本測定確度 0.012%
電流印加・測定範囲 ±(300pA~1A)
電圧印加・測定範囲 ±(300uV~20V)
抵抗測定範囲 1mΩ~10GΩ
電源 AC100V 50/60Hz
消費電力 190VA
外形寸法 W213×D370×H89(mm)
重量 3.21Kg
インターフェース 標準SCPI ,GPIB,RS-232

付属ソフトウェア

体積抵抗率測定範囲 5mΩ・cm~45GΩ・cm
シート抵抗測定範囲 5mΩ/□~45GΩ/□
対応OS WindowsXP,Windows Vista,Windows 7
ハードディスクの空き容量 100MB以上
CPU Pentium III 500MHz以上
データ出力形式 csvファイル

※付属の専用ソフトウェアはKEITHLEY 2401の仕様に合わせて作成しておりますので、その他の測定器では動作いたしません。
KEITHLEY 2401以外を測定器としてお考えのお客様には別途ソフトウェア作成の対応をさせて頂きますのでお問い合わせください。

カタログダウンロード(PDF)

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