4探針プローバー

※PCはセットに含まれません。

特長

  • 直列4探針法を用いて、シリコンウェハ、太陽電池、ITO薄膜等のシート抵抗値・体積抵抗率の測定を行います。
    最大12インチに対応する装置をラインナップしているので、測定する試料サイズに合わせて最適なステージをお選びいただけます。
  • 専用ソフトウェアがシート抵抗・体積抵抗率をJIS準拠の計算式で自動的に算出するので、ウェハ面内複数点のデータ収集も容易に行えます。
  • KEITHLEY 2401型ソースメータを、標準測定器としてご用意しております。
    測定専用ソフトウェアと合わせてご使用いただくことで、スムーズかつ高精度なシート抵抗・体積抵抗率測定が行えます。
  • プローブヘッドはNIST(米国立標準技術研究所)トレーサブルな校正用試料を用いて出荷前検査を実施しております。
  • プローブ針の材質は、タングステンカーバイド・オスミウム合金・金めっきベリリウム銅の3種類を用意しているので、試料に合わせてご選択いただけます。

ラインアップ

Z軸の位置決めが構成度に行えるSR-4シリーズとローコストなSR-H1000Cをご用意しています。

SR-4シリーズ

SR-4シリーズ

SR-4-6

プローブヘッド高さ位置を分解能10umの精度で調整することができます。
コンパクトな装置設計となっており、場所をとることなく測定が出来ます。
6インチ、8インチ、12インチ用の3機種をご用意しておりますので、測定する試料サイズに合わせて最適な装置をご選択いただけます。

SR-H1000C

SR-H1000C

SR-H1000C(156角仕様)

低価格でシート抵抗・体積抵抗率の測定を実現できる4探針プローバーです。
ステージのチャックは角型です。
チャックサイズは、156mm角、300mm角の2機種をご用意しております。

仕様表

プローブステージ

機種名 SR-4-6 SR-4-8 SR-4-12 SR-H1000C
対応サイズ ~6” ~8” ~12” ~156mm角 ~300mm角
プローブヘッド
Z軸移動範囲
10mm 10mm 10mm 18mm 18mm
プローブヘッド
Z軸位置決め微動機構
× ×
外形寸法 W220×
D420×
H250(mm)
W700×
D800×
H300(mm)
W320×
D320×
H240(mm)
W700x
D700×
H300(mm)
重量 20Kg 50Kg 15Kg 40Kg
プローブヘッド 1個付属

プローブヘッド

測定する試料に合わせて、下記のラインナップより最適なプローブをご提案いたします。
お問い合わせをいただく際には、測定試料の情報をご教示いただければと思います。
材質 針間隔 針圧力 先端半径
タングステンカーバイド
(硬質)
1mm/0.635mm/
62mil/40mil
50g/100g/150g/
200g/250g
40um/100um/150um/
200um/250um/400um/
500um/600um
0.1F(フラット)
オスミウム合金
(軟質)
金めっきベリリウム銅 1mm/62. 5mil(1.59mm) 85g 60um

測定器(KEITHLEY 2401)

桁数 5.5桁
基本測定確度 0.012%
電流印加・測定範囲 ±(300pA~1A)
電圧印加・測定範囲 ±(300uV~20V)
抵抗測定範囲 0.3mΩ~1MΩ
電源 AC100V 50/60Hz
消費電力 190VA
外形寸法 W213×D370×H89(mm)
重量 3.21Kg
インターフェース 標準SCPI ,GPIB,RS-232

付属ソフトウェア

体積抵抗率測定範囲 1.35mΩ・cm~1MΩ・cm
シート抵抗測定範囲 1.35mΩ/□~1MΩ/□
対応OS Windows 7/ 8/ 8.1/ 10/11(32bit/64bit)
ハードディスクの空き容量 100MB以上
CPU 動作クロック1GHz以上
データ出力形式 csvファイル

※付属の専用ソフトウェアはKEITHLEY 2401の仕様に合わせて作成しておりますので、その他の測定器では動作いたしません。
KEITHLEY 2401以外を測定器としてお考えのお客様には別途ソフトウェア作成の対応をさせて頂きますのでお問い合わせください。

カタログダウンロード(PDF)

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