枚葉式洗浄装置Spin型枚葉処理装置

半導体の品質にこだわるなら、
洗浄にもこだわる。

1つのチャンバー内で薬液処理から
リンス乾燥までのフルプロセスの実現

薬液の温調循環再生利用も可能であり
コスト削減・環境負荷低減へ

概要

  • ワンチャンバーでプロセスが完結
  • 薬液の温調循環再生利用が可能で省エネルギー
  • アルカリと酸の基板処理を同一チャンバー内で処理可能
  • シールド板が付属し、プロセス中の薬液の飛散を抑えることが可能
  • エッチングと有機剥離も同一装置内で処理可能
  • エッチングからマスクレジスト除去まで一気通貫処理可能
  • 自動化により作業者の負荷軽減、人的ミスのリスク低減
  • 極薄・脆弱な基板でも安心して処理ができ、製品品質の向上

主仕様

使用用途 有機洗浄/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄
装置寸法 W2000×D1850×H1960 mm
対象ウエハサイズ 4インチ、6インチ、8インチ
電源 200V、3層、50/60Hz
処理液 有機系剥離液、純水
薬液供給 薬液循環回収
レシピ数 40
ステップ数 50

※ご要望に応じて、その都度仕様は変更となります。

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