高速熱処理装置(RTP/RTA装置)

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LED基板、太陽電池セルの高速熱処理ソリューションAccuThermoシリーズ RTP/RTAシステム

Allwin21社のRTP/RTA装置AccuThermoシリーズはAG Associates社AG Heatpulseシリーズの後継機種にあたる、デスクトップ型の最新型高速熱処理装置です。

強力な近赤外照射により、2インチ~8インチまでのシングルウェハを短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理します。

加熱チャンバーのCOLD-WALLデザイン、優れた加熱均一性、高度な温度制御技術、および最新の制御ソフトウェアにより、従来の加熱炉やRTPシステムと比較して圧倒的な優位性があります。

Allwin21社は米国Applied Materialの子会社であるMarton社より独占的なライセンス供与を受けてRTPシステムを製造しています。

ラインナップ

AccuThermo aw410 : 2インチ~4インチ対応モデル
AccuThermo aw610 : 6インチ~6インチ対応モデル
AccuThermo aw810 : 5インチ~8インチ対応モデル

特徴

  • コンパクトな卓上型システムで省スペース、省エネルギーです。
  • ウェハサイズに合わせて、3種類のシステムをラインナップしました。(4インチ/6インチ/8インチ)
  • 最高昇温速度200℃/秒、最高到達温度1,250℃のクローズドループ高速熱処理に対応。
  • 最先端の温度制御アルゴリズムにより、オーバーシュート、アンダーシュートのない熱処理が可能。
  • 優れたウェハ間温度プロファイル再現性。
  • 広域レンジパイロメーター(非接触高温温度計)による高精度温度計測(オプション)
  • 各種プロセスガス用に最大4つのMFC(マスフローメータ)を組み込み可能です。
  • ガラス基板や、化合物半導体用に各種サセプタをご用意しております。
  • 高度なレシピ設定、キャリブレーション機能によりR&Dのみならず、生産用途にもご使用いただけます。

アプリケーション

  • LEDのRTA(高速アニール)
  • 化合物半導体の各種熱処理
  • 太陽電池セルの各種高速熱処理
  • 酸化膜、窒化膜生成
  • イオン打ち込み後の活性化
  • 酸化物のリフロー
  • シリサイド形成
  • ポリシリコンのアニール
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ソフトウエア

AccuThermoシリーズ用に完全にコンプリートされた、RTP/RTAソフトウエア。R&D用途から、生産用途まで対応します。

制御ソフトウエア

メインメニュー エンジニア用プロセス画面
レシピ編集 プロセスモニタ(リアルタイム)
システムダイアグラム プロセスガスセットアップ

各種キャリブレーションプログラム

パイロメータ(非接触高温計)キャリブレーション 熱電対キャリブレーション
プロセスガスキャリブレーション チャンバーキャリブレーション

仕様

RTP仕様表

オプション

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