ファイン&グロスリークテスター NorCom2020
NorCom社(米国)は、主に気密封止されたハーメチックパッケージなどのリークを検出する、リークテスターのメーカーです。NorCom社の特徴は、独自の特許技術で「光学的」にリークを検出出来ることです。
フロリナートといった高額な消耗品が不要であり、グロスリークからファインリークまで一度に測定することが出来ます。ファインリーク試験では必須であったヘリウムのポンピングも不要になりますので、測定が簡潔化され、スピーディーに測定を行うことが可能になります。
製品ラインナップ
OLT(Optical Leak Testing)とは？
NorCom社が開発したOLT(Optical Leak Testing)は、MIL-STDにも認可されている、グロスリークからファインリークまですべてカバーする唯一の測定方式です(NorCom社の特許技術) 。
これまでは、グロスリーク試験とファインリーク試験を異なる装置で別々に測定を行っておりましたが、OLTでは1度の測定でグロスリークとファインリークのレンジをカバーすることが可能です。
最近では環境規制の関係で購入が難しくなっている高額なフロリナートも不要になりますので、環境にも優しい試験方法です。
測定原理
測定の原理としては、先ずパッケージに対して「圧」を与えます。
この際、NorCom2020シリーズではヘリウム、またはN2を使用します。
その圧によって変形したパッケージの蓋の「変動」を高精度な干渉計で測定し、
「Pass」「Fail」を判定することが出来ます。
グロスリークがある場合には、圧を掛けた際、蓋は変動しません。
ファインリークがある場合には、圧を掛けると徐々にリッドは圧力変化に応じて変動しますが、
リークしている為、あるところでパッケージ内部に溜まったエアーが蓋を押し上げます。
正常なパッケージは、蓋が圧によって凹んだまま戻ることはありません。
NorCom2020では、下のイメージのように、干渉縞で蓋の変動をモニターしております。
測定対象パッケージ
従来の方法ですと、ヘリウムをポンピングする為、対象のパッケージ以外がヘリウムを吸収してしまい、ヘリウム検出の際、「Fail」となることがありました。
OLT方式では、ヘリウムを検知していない為、このような問題が起こりません。
OLTでは、MEMSのようにキャビティーのあるウエハーでの測定が可能であり、1サイクルあたり1,000デバイスまで測定することが出来ます。
ダイシングリングが付いた状態でも問題ございません。
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