各種 プローブ・プローブアーム
DC測定用プローブ
非同軸タイプのDC測定用プローブアームです。
ソケット式の専用測定ケーブル（標準 1m）が付属しています。
| HP40 スタンダードプローブ | |
|---|---|
| 主用途 | DC測定用 |
| 周波数帯域 | DC ～ 30kHz（3 dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
-65℃ ～ +300℃ |
| 対応プローブチップ | 軸径 0.5mm ディスポプローブ |
| プローブ固定方式 | スプリング内蔵ソケット |
| 測定ケーブル 終端コネクタ | 4mmバナナプラグ または BNC |
| HP40S サスペンションプローブ | |
|---|---|
| 主用途 | DC測定用 |
| 周波数帯域 | DC ～ 30kHz（3 dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
-65℃ ～ +250℃ |
| 対応プローブチップ | 軸径 0.5mm ディスポプローブ |
| プローブ固定方式 | セットスクリュー |
| 測定ケーブル 終端コネクタ | 4mmバナナプラグ または BNC |
微小信号 I-V測定用プローブ
微小信号I-V・C-V測定に対応する高精度プローブです。
弊社プローブシステム搭載、シールド遮光環境での使用により、fAレベルの微小電流測定に対応できます。
ローノイズ専用測定ケーブル（標準 1m）が付属しています。
| HCP40 高精度プローブ | |
|---|---|
| 主用途 | 微小信号I-V・C-V測定 |
| 周波数帯域 | DC ～ 10MHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
4K ～ +300℃ |
| 対応プローブチップ | 軸径 0.5mm ディスポプローブ |
| プローブチップ固定方式 | スプリング内蔵ソケット |
| 測定ケーブル 終端コネクタ | BNC または トライアキシャル |
| HCP40LP ロープロファイル高精度プローブ | |
|---|---|
| 主用途 | 微小信号I-V・C-V測定 高倍率対物レンズ対応 |
| 周波数帯域 | DC ～ 10MHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
4K ～ +300℃ |
| 対応プローブチップ | 軸径 0.5mm ディスポプローブ |
| プローブチップ固定方式 | スプリング内蔵ソケット |
| 測定ケーブル 終端コネクタ | BNC または トライアキシャル |
ケルビンプローブ（微小信号 I-V・C-V測定用）
微小信号I-V・C-V測定、各種LCR測定、高速パルス測定に対応するケルビンタイプのプローブです。
弊社プローブシステム搭載、シールド遮光環境での使用により、fAレベルの微小電流測定、fFレベルの微小容量測定にに対応できます。
ローノイズ専用測定ケーブル（標準 1m ×2本） が付属しています。
| A74CJ 1tip/Kelvin プローブ | |
|---|---|
| 主用途 | 微小信号I-V・C-V測定、高速パルス |
| 周波数帯域 | DC ～ 100MHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
10K ～ +200℃ |
| 対応プローブチップ | 専用同軸プローブチップ（A73CT） |
| プローブチップ固定方式 | スプリング内蔵ソケット |
| 測定ケーブル 終端コネクタ | BNC または トライアキシャル |
| A74TK True Kelvin プローブ （プローブチップ一体型） |
|
|---|---|
| 主用途 | 微小信号I-V・C-V測定、高速パルス、LCR測定 |
| 周波数帯域 | DC ～ 100MHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
10K ～ +200℃ |
| プローブチップ先端半径 | 5 / 10 / 12.5 μm |
| プローブピッチ | 12.5 / 25 / 50 / 75 / 100 μm |
| 測定ケーブル 終端コネクタ | BNC または トライアキシャル |
| A74KS 1tip/Kelvin プローブ （ディスポプローブ対応） |
|
|---|---|
| 主用途 | 微小信号I-V・C-V測定 |
| 周波数帯域 | DC ～ 10MHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
4K ～ +300℃ |
| 対応プローブチップ | 軸径 0.5mm ディスポプローブ |
| プローブチップ固定方式 | スクリューナット |
| 測定ケーブル 終端コネクタ | BNC または トライアキシャル |
ハイパワーデバイス対応プローブ
各種ハイパワーデバイスの測定に対応したプローブです。（大電流・高電圧）
※当製品は弊社プローブシステムのオプション製品となります。単体での販売は行っておりません。
| HCP-SHC 大電流プローブ （プローブチップ一体型） |
|
|---|---|
| 主用途 | 大電流測定 最大 200A（pulse） |
| 周波数帯域 | DC ～ 30kHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
-65℃ ～ +300℃ |
| HCP-HVTX 高電圧プローブ（トライアキシャル 3kV） | |
|---|---|
| 主用途 | 高電圧測定 最大 3kV（Triaxial） |
| 周波数帯域 | DC ～ 10MHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
-65℃ ～ +300℃ |
| HCP-HVCX 高電圧プローブ（コアキシャル 10kV） | |
|---|---|
| 主用途 | 高電圧測定 最大 10kV（Coaxial） |
| 周波数帯域 | DC ～ 10MHz（3dB） |
| 使用可能温度範囲 （チャック温度） |
-65℃ ～ +300℃ |
高周波プローブ用アーム
67GHzまでの高周波プローブ（GSG等）の取付けに対応する高周波プローブ用アームユニットです。
プローブを均一にコンタクトするための、あおり調整機構が付属しています。
| HRFA-SC シールドチャンバー対応高周波プローブ用アーム | |
|---|---|
| 対応プローブ | 各社高周波プローブ（～67GHz） |
| 設置方向 | EAST / WEST / NORTH / SOUTH |
| 対応ポジショナ | HP130-SC |
FETプローブ用アーム
GGB社 Picoprobeを取り付け可能なアームユニットです。
取付け角度を調整することができます。
プローブカード対応
プローブカードアダプタ
各種プローブカードに対応するプローブカードアダプタをご提供します。
標準仕様プローブカードアダプタ
シールドチャンバー対応仕様
プローブカード
ご要求仕様に合わせて、プローブカードを設計・製作いたします。
- 微小信号測定対応
- 高周波測定対応
- 高低温対応（-60℃ ～ +300℃）
- エッジセンサ、トリプルセンサ対応
- 非磁性対応
- ソケットボード対応
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
カタログダウンロード（PDF）
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