ポジショナ（マニピュレータ）

プローブのコンタクトポジションを、高精度に位置決めするための各種ポジショナ（マニピュレータ）です。XYZ移動量や調整感度、サイズ等により、最適な製品を選択して頂けます。

コンパクトで汎用性の高い小型ポジショナ。
バックラッシュが僅少で、70μm～程度のPAD（電極）に安定コンタクトできます。固定方式はラバーマグネットです。

小型ポジショナ HP80の、ON・OFF切替式マグネットベース仕様。
バックラッシュが僅少で、70μm～程度のPAD（電極）に安定コンタクトできます。

コンパクトなマイクロメータ送り式高精度ポジショナ。
バックラッシュがなく10um～の配線やPAD（電極）に素早くアクセスできます。

精密リードスクリュー送り式高精度ポジショナ。
バックラッシュがなく、10μm～の配線やPAD（電極）に安定コンタクト可能です。

ファインピッチマイクロメータ送り式高精度ポジショナ。
XYZ 各軸に高精度クロスローラガイドを採用しており、数μmレベルの配線やPAD（電極）に安定コンタクトが可能です。

型式	HP130A/R（右配置用） HP130A/L（左配置用）
移動量	XYZ 各 13mm
移動分解能	XYZ 各 0.25mm / 回転
調整感度	1μm
固定方式	[末尾 –M] ON/OFF切替式マグネットベース [末尾 –V] 真空吸着ベース
外形寸法・重量	W65×D134×H128mm・約1230g

スチール製超高精度ポジショナ。
剛性および送り精度に優れており、サブミクロン配線へのコンタクトが可能です。

型式	HP130S/R（右配置用） HP130S/L（左配置用）
移動量	XYZ 各 13mm [HRオプション] XYZ 各 6.5mm
移動分解能	XYZ 各 0.25mm / 回転 [HRオプション] XYZ 各 0.1mm / 回転
調整感度	＜0.5μm
固定方式	[末尾 –M] ON/OFF切替式マグネットベース [末尾 –V] 真空吸着ベース
外形寸法・重量	W65×D134×H128mm・約3200g

シールドチャンバー付システム専用ポジショナ。

型式	HP130-SC/R（右配置用） HP130-SC/L（左配置用）
移動量	XYZ 各 13mm
移動分解能	XYZ 各 0.25mm / 回転
調整感度	5μm
固定方式	[末尾 –M] ON/OFF切替式マグネットベース [末尾 –V] 真空吸着ベース
外形寸法・重量	－

各種プローバー（プローブステーション）と、ポジショナの対応表です。
○ : 搭載可（推奨）　　△ : 搭載可（オプション）　－ : 搭載不可

プローブステーション型式	HP80	HP65	HP120	HP130（A/S）	HP130SC
	ポジショナ型式
HMP-200E/400/600	○	○	○	△	－
HMP-410IS	○	○	－	－	－
HMP-410SC/610SC	－	－	－	－	○
HMP-800/1200	○	○	○	○	－
HMP-810SC/1210SC	－	－	－	－	○
HSP-100/150/150DS	－	－	○	○	－
HSP-200/300/200DS	－	－	○	○	－
HSP-200SC/300SC	－	－	－	－	○