簡易型マニュアル・プローバーHMP-200E（2inch）

個片の電気特性評価に最適なコンパクトマニュアルプローバー

個片または小径ウェハの電気特性評価に対応した、研究開発用簡易型マニュアルプローバーです。
プロービングに必要な機能のみに絞ったシンプルな機構で、信頼性の高い測定を実施できます。

室温での、トランジスタ、ダイオードのI-V測定、4端子抵抗測定等に対応できます。

アプリケーション

導通試験
各種 I-V測定
各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV）
4端子抵抗測定

装置外観

小型ポジショナ最大6台、高精度ポジショナ
最大4台を搭載可能な固定プラテン

真空吸着ベース付のコンパクトな X,Y,Z,θ
4軸ステージ（マイクロメータヘッド付）

試料裏面に通電可能な個片対応チャック
（バックゲート印可等）

pA以下の微小電流測定に対応する
シールド遮光ボックスオプション

代表仕様

項目	HMP-200E
ステージXY移動範囲（粗動）	フリー移動（真空吸着固定機能あり）
ステージXY移動範囲（微動）	XY 各 ±3mm
ステージθ移動範囲	粗動 ±30°，微動 ±5°
ステージZ移動範囲	±3mm
プラテン	固定式
システム寸法（W×D×H）※	300 × 270 × 440 mm
システム重量※	約 16 kg

※システムの構成により変動します。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

ポジショナ（マニピュレータ）
プローブ・プローブアーム
プローブ・チップ

ウェハ・チャック
マニュアルプローバー用シールド遮光ボックス

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有計測器メーカー様

（順不同、敬称略）

キーサイト・テクノロジー(株)
テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
(株)エヌエフ回路設計ブロック
ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
日置電機(株)
岩崎通信機(株)
(株)エーディーシー
(株)テクシオ・テクノロジー
他多数

インテグレーション実績有ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他多数

カタログダウンロード（PDF）

ハイソルプローブシステム総合カタログ

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