Tribo 自動CMP装置

Tribo 自動CMP装置

LOGITECH

Tribo CMPシステムは関連するウエハー、パッド及びスラリーの相互作用を含むウエハープロセスの研究を念頭において設計された精密なベンチトップマシンです。
Triboシステムの第一のアプリケーション分野はCMPプラナリゼーション、またはデレイアリングで、2番目の分野は摩擦学研究分野です。

優れたリアルタイム分析能力

優れたリアルタイム分析能力

Triboシステムは分析を念頭において構築されました。
CMPプロセスデータを分析し、記録するために一連の進んだセンサーアレーがリアルタイムのプロセス情報をオペレーターに供給します。
モニターされるパラメーターにはCoF(摩擦係数)、パッド、スラリー、プレート及びキャリア/パッド界面温度が含まれます。
これらのセンサーはEnd Point Detection(EPD)または最適性能に最も重要なプロセス安定性の条件を確認し、評価するための情報をオペレーターに伝えます。

一貫した品質、再現性のある能力

一貫した品質、再現性のある能力

進んだプロセスセンサー、ダイヤモンドパッド調整及び小型部品構成等の先端技術を使用して、TriboシステムはCMP研究及び分析能力を強化し、向上します。

耐化学性のTriboシステムは標準的にウエハー試験片、部分的ウエハー及び4インチ径までの完全なウエハーを400mmの研磨プラテン上で処理する能力があります。
Triboシステムの中のE.U.製造部品は一貫した結果を完璧に実行する装置を構築した長い年月の経験から製作されています。
これらの要素が組み合わされて、精度、再現性及び信頼性に関する大きなシステム性能が保証されております。

2つ目のキャリアアームにはカスタマーの要求に応じた各種のパッドコンディショナーをマウントできます。
支給されるコンディショナーは業界標準の4.25インチのダイヤモンドCMPパッドコンディショナーで、研磨パッドのオリジナル特性を保持し、ウエハー間の変動を少なくします。
これにより、ウエハーの歩留まりを上げ、プロセス信頼性及び投資効果を向上します。

キャリア及びパッドコンディショナーアームはパッドタイプ及び処理する表面に対応したスイープ、振中及びダウンロードフォースを個々にセットでき、独自のパラメータでパッド調整の改善及びパッドライフの最適化を可能にします。

強化されたコントロール

Triboのユーザーインターフェースは国際的に認められた分析ソフトウエア技術を使用しており、すべての機能は供給されたラップトップPCを介してコントールされます。
これにより、プロセスセンサーから取得されるデータは外部の統計、または分析ソフトウエアに転送することができます。
標準的ファイルフォーマットの情報を抽出でき、CMPプロセス中に起こる反応をより良く理解できる利点があります。
システム動作を精密に自動化できることは、各種のサブプロセスを含む全体のCMPプロセスを始動したあとは操作を無人化できることを意味します。
これにより、オペレーターはTriboが指定されたれレシピ、またはシステム動作を自動的に実行することを前提にして、他の作業を安心して行うことができます。

適応性及び可動性-Logitechの標準的品質

できるだけフレキシブルなシステムにするために、オプションとして4つ迄の独立したスラリーポンプを同時に組み込める構成になっています。
これにより、プロセスレシピに複数のスラリーを個々に、または混合して組み込み、異なるプロセス条件に対応したカスタムスラリーを作ることができます。
結論として、Triboは最初からスペースが限定されているラボで、システム性能を落とすことなく、可能なプロセスコントロール基準を達成するように設計されてました。

動作ムービー

お問い合わせ

お問い合わせは下のフォームをご利用になれます。
必須項目は必ずお書きください。

会社名 (※必須)

部署名 (※必須)

お名前 (※必須)

郵便番号

住所 (※必須)

TEL (※必須)

FAX

E-MAIL(※必須)

お問い合わせ内容


 この内容でよろしかったら、左の□の枠をクリックして送信ボタンを押してください。


SSLとは?

ハイソル株式会社では、企業の実在性の証明と個人情報の保護のため、シマンテック・ウェブサイトセキュリティのSSLサーバ証明書を使用し、SSL暗号化通信を実現しています。左記のスマートシールをクリックすると、サーバ証明書の検証結果をご確認できます。

インターネット上で個人情報を入力する必要のあるユーザー登録やお問い合わせなど、サーバーとブラウザの間を暗号化して、第三者によるデータの改ざんや盗用を防いでいます。

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

  • 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
  • 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
  • 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
  • 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。