概要
セミオート型ウエッジワイヤーボンダーはY軸、Z軸がモーター制御されておりますので
ワイヤーボンディング時のループコントロールを設定できる機能を持っております。
それにより低ループ、長ループ、多層ループ等、マニュアル機では実現できない特殊アプリケーションにも対応する事が出来ます。
また、CCDカメラユニットでワークを真上から確認し、モニター上のボンディングポイントを指定してボンディングを行いますので
安定した作業性、ボンディング性を実現しております。
装置ラインナップはアルミ線、金線ボンディングが可能な45度フィードウエッジタイプ（4500E仕様）及び
アルミ線、金線、リボン線ボンディングが可能な90度フィードウエッジタイプ（4600E仕様）となります。
尚、装置構成によってウエッジボンダー兼用機、ウエッジボンダー＆ボールボンダー兼用機でのご提案も可能となっております。
特長
- ループコントロール設定可能
- 150mm以上の基板へボンディング可能
- モデル4500E（ウエッジボンダー）
- モデル4600E（ディープアクセスウエッジボンダー）
- モデル7700D（ボールワイヤー&バンプボンダー）
- リボンボンディング可能（モデル4600Eの場合）
- バンプボンディング可能（モデル4700Eの場合）
標準構成
- 本体部（モデル4500E/4600E/4700E）
- 顕微鏡部（実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明）
- ワークホルダー
- 温度コントローラー
- 自動ワイヤーディスプーラー
- ワイヤー
- ボンディングキャピラリー
- テンションゲージ
標準仕様
| ボンディング方式 | US・TC又はサーモソニック方式 |
|---|---|
| 操作方法 | X-Y-Z 3軸マニピュレーター（特許） |
| 荷重 | 約10g～150g（スプリングによる調整可能） |
| ボンディングツール長 | 4500E／4600E 0.750”（約19mm） 4700E 0.625”（約16mm） |
| ボンディングツール径 | １/16”φ（約1.58mmφ） |
| 対応ワイヤー | 4500E／4600E 18μmΦ～50μmΦまでの金線・アルミ線 4600E W=250μm t=30μmまでの金・アルミリボン線 4700E 18μmΦ～50μmΦまでの金線 |
| 本体スプールマウント | 2インチ及び1/2インチスプールマウント |
| 周波数 | 63KHz |
| 超音波出力 | 最大4W（切替え可能） High Power=4W Low Power=2W 0～999目盛 1目盛単位で設定可能 |
| 超音波印加時間 | 0～999ms 1ms単位で設定可能 |
| コントロールロジック | Motorola 68000マイクロプロセッサー |
| メモリー | 256KB RAM |
| データ入力 | キーパッド入力（12キー） |
| モニター | LCDフラットディスプレー |
| Y、Z軸ストローク | 12.7mm |
| Y、Z軸分解能 | 0.0053mm |
| ワイヤーテールコントロール | テールスイッチによる1ステップ単位での設定可能 |
| デュアルフォース機構 | 1stボンドと2ndボンドの荷重をそれぞれ設定可能 |
| スティッチボンディング | 20ループまで連続ボンディング可能 1ボンド単位で設定可能 |
| ステージ（テーブル）寸法 | X=260 Y=280mm Z軸可変18.0mm（基準位置＋4.5mm －13.5mm） |
| エアーホース径 | 1/4インチ 又は 6x4mm（内径4ｍｍ）チューブ接続 |
| ユーティリティー | 電源･電圧：100VAC･3A（付属品含め10A以内）・3Pコンセント接続 周波数：50/60Ｈｚ エアー圧力：4kg/cm² |
| マシン寸法 | 本体部 566Dx615Wx280Hmm（顕微鏡は除く） 電源ユニット 205Dx225Wx76Hｍｍ |
| 重量 | 35Kg（顕微鏡は除く） |
オプション
- コンプレッサー
- ワークアジャスタブルテーブル
- 各種ワークホルダー
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