オート　ワイヤーボンダー（ボール＆ウエッジ兼用型）

パターン認識装置標準装備
大型ワークにも対応したオートボンダー

パターン認識装置が標準装備された
オートワイヤーボンダーです。
装置仕様によりボールボンディング、
ウエッジボンディング、バンプボンディング、
リボンボンディング等に対応します。

大型基板に対応した広いワークエリアを実現
特殊パッケージにも対応した汎用性を
持っております。

サポート体制も充実、50年以上の信頼と実績に
裏付けされた技術力は　他にはない、
安心したアフターフォローをお約束致します。

概要

モデル353637F-90はパターン認識装置（Matorox）を内蔵したオートタイプのワイヤーボンダーです。
ボールボンディング、ウエッジボンディングの両方に対応した兼用型マルチワイヤーボンダーです。

X軸、Y軸、Z軸、Θ軸がモーター制御されており、ワイヤーボンディング時の
ループ形状を自由にコントロールすることができます。
それにより狭ピッチボンディングや複雑化したレイアウトに対してのワイヤーボンディングに有効で
低ループ、高ループ、多層配線等にも作業者のスキルに影響されず安定したボンディングを
実現しました。

装置に内蔵されたCCDカメラユニットでボンディング対象を真上から確認
モニター上のボンディングポイントを指定してボンディングを行いますので操作性も抜群です。

装置筐体は□150mm以上の大型ワークに対応、他にはない広いワークエリアを実現しました。
モデル353637F-90は少なくとも7種類のボンディングに対応した汎用性の高い機器となっております。

①45度ウエッジボンディング（超音波伝達効率が最も良いとされるボンディング方式です）
②90度ディープアクセスウエッジボンディング（最大深度16mm）
③リボンボンディング
④ボールボンディング
⑤バンプボンディング
⑥セキュリティボンディング
⑦スティッチボンディング

各種半導体、MEMS、センサ、マイクロ波デバイス等、あらゆる場面でご活用頂く事が可能です。

特長

パターン認識機構付属
パターン認識装置MATROX（複数点確認方式）を採用
安定したボンディングを実現しております。
ループコントロール機構
モーター制御されたX軸、Y軸、Z軸により、低ループ、高ループ
多層ループなど、様々なアプリーケーションに対応した
ループ形状を実現することが可能です。
45度ウエッジボンディング
超音波伝達効率が最も良いとされる45度クランプを採用
ボンディング条件を低く抑えることが来ますので
対象ワークに対してのダメージを低減する事が出来ます。
90度ディープアクセスウエッジボンディング
最大深度16mmまでの深打ちボンディングに対応
箱型PKGや特殊PKGへのワイヤーボンディングに対応します。
ボールワイヤーボンディング
線径13μmΦ～50μmΦまでの金線をボールボンディング可能
イニシャルボールのサイズも任意に調整できますので
極所パッドへのボンディングにも対応します。
バンプボンディング
モード切替でバンプボンディングにも対応します。
フリップチップ実装の評価に最適です。
金リボンボンディング
W=300μmまでの金リボンボンディングが可能
高周波デバイスへの応用が可能です。
アルミリボンボンディング
W=300μmまでのアルミリボンボンディングが可能
常温下でのボンディング作業となり
熱に弱いワークなどに有効です。
広いワークステージ
□150mmの大型ワークに対応した筐体を採用
それに合わせたワークホルダー（治具）も作製可能です。
CCDカメラユニット
対象を真上から確認する為のCCDカメラユニットを標準装備
モニター上で対象ワークを確認できますので
実体顕微鏡下ではボンディングできないワークにも対応します。
ループプログラム設定
ループ形状のプログラムをメモリー可能。
様々なアプリケーションに対応します
回転式ワークホルダー
パッケージ形状にあったΘ回転機構付属のワークホルダーを
標準装備、様々なパッケージに対応した特注治具も作製可能
超音波ワイヤーフィード機構
超音波を印加しながらワイヤーフィードを行います。
ボンディング時のワイヤー詰まりを軽減し
安定したワイヤーボンディングを実現しました。
デュアルフォース
1STボンドと2NDボンドの荷重を任意に調整する事が出来ます。
多様なボンディングサンプルへの条件設定に非常に有効です。
スティッチボンディング（連続ボンディング）
作業者はボンド数を設定するだけで、
簡単にスティッチボンディング（連続ボンディング）を
行う事が出来ます。
高い汎用性
銅線、銀線、Pt線等の特殊ボンディングにも対応可能です。
詳細についてはご相談下さい。
充実したサポート体制
高いスキルと充分な経験を持ったボンダー専門技術者が
納品後もサポートを行います。
お客様が長期に渡り、安定してご使用頂く事が出来る
サービス体制を整えております。
ランニングコストが安い
WEST・BOND社製品は全般的にランニングコストが安いです。

サポート

高いスキルと充分な経験を持った
ボンダー専門技術者が納品後もサポートを行います。
50年以上の経験と実績で他社にはない高い満足感を
得る事ができます。

修理/メンテナンス作業（旧型設備でも対応可能です）
条件出しのアドバイス
移設業務
オペレーショントレーニング作業
ワークホルダーの作製相談　等々

アプリケーション

45度金線・アルミ線ウエッジボンディング
線径13μmΦ～50μmΦまでの金線及びアルミ線に対応
電極サイズ□50μmへのボンディングも実現可能です。
ボンディング条件を極限まで抑える事が出来ますので
評価用デバイスに最適です。
90度金線・アルミ線ディープアクセスウエッジボンディング
最大深度16mmまでの深打ちボンディングが可能
箱型特殊PKGにも柔軟に対応する事が出来ます。
壁際へのボンディングにも対応できますので
高周波デバイス等に有効です。
金線ボールワイヤーボンディング
線径13μmΦ～50μmΦまでの金線ボンディングが可能
電極サイズ□50μmへのボンディングも実現可能です。
バンプボンディング
バンプ径45μｍΦ～対応可能
フリップチップ実装の研究開発用途等でご使用頂く事が出来ます。
プラチナ線（Pt線）ボンディング
Pt線を用いた特殊配線が可能
生体デバイス、高耐熱デバイス、ソフトマテリアルデバイス
ウェアラブルデバイス等、幅広く応用する事が出来ます。
リボンボンディング
W=300μmまでの金リボン、アルミリボンボンディングに対応
高周波特性の改善に適したリボンボンディングを
容易に行う事が出来ます。
Cu線、Ag線、被覆線等の特殊ワイヤーボンディング
Cu線、Ag線、Ni線、Nb線、被覆線等
特殊線材のボンディングが可能です。詳細は別途ご相談下さい。

装置外観

仕様

ボンディング方式	US／TC／サーモソニック方式
操作	PC制御
ボンディング種類	45度ウエッジボンディング（モデル3500E仕様）
	90度ディープアクセスウエッジボンディング（モデル3600E仕様）
	ボールワイヤーボンディング（モデル3700E仕様）
	バンプボンディング（モデル3700E仕様）
荷重	10g～100g（調整可能）
ワークサイズ	□150mmまで対応可能
ワイヤー	13μmΦ～50μmΦまでの金線、アルミ線
金リボン（3600E仕様）	W=50μm～300μm　t=20μm～30μm
アルミリボン（3600E仕様）	W=100μm～300μm　t=20μm～30μm
特殊ワイヤー	Ag線、Cu線、Pt線、Ni線、Nb線（別途ご相談下さい）
ワイヤーフィード角	45度、90度
ループコントロール	標準装備
パターン認識装置	MATROX（複数点認識）
周波数	63KHz
超音波パワー	最大4W
超音波タイム	最大999ms
ラジアントヒーター	ツール加熱機構　常温～200℃
スティッチボンディング	連続ボンディング機構　1ボンドから設定可能
デュアルフォース機構	1STボンドと2NDボンドの荷重を個別設定可能
ファイヤリングスイッチ機構	荷重を自動認識し超音波を発振します。