タッチパネル式 ギ酸ガス・水素ガス両対応 真空はんだリフロー装置 VSS シリーズ
VSS-450-300

2016年3月23日

ギ酸ガス・水素ガス両対応真空はんだリフロー装置
試作開発用途の他、インラインシステムにも組み込み可

N2・H2・ギ酸対応・真空リフロー フラックスフリー/フラックスはんだ対応

モデル VSS-450-300 の特長

最大到達温度450℃

装置筐体部の冷却機構を標準装備。安全に配慮しながら最大到達温度450℃を実現します。そのためはんだリフローとして利用するだけでなく、ペースト材料などの焼結テストにも余裕で対応します。

高速昇温/降温に対応

高速赤外(IR)ヒーターを装備し、最大毎分100℃以上(毎秒1.7℃以上)の高速昇温を行うことができます。また、オプションの上部IRヒーターモジュール搭載時には、毎分350℃の圧倒的なパフォーマンスを発揮することが可能です。
もちろん、プロファイルプログラム指示値による任意の昇温速度で昇温させることもできます。また、高速降温を実現するための「水冷システム」を標準装備。
高品質なはんだリフローに要求される、温度制御コントロールを簡単に実現できるほか、連続運転時の待ち時間を大幅に短縮することができます。

多彩なリフロー環境に対応

標準装置で、大気リフロー、真空リフロー、窒素ガスパージリフロー、またその組み合わせに対応するだけでなく、オプションの追加ガスラインやギ酸ガスモジュール、高濃度水素ガスモジュールを装備することで、フォーミングガス(水素ガス+窒素ガス)パージ環境、ギ酸ガスパージ環境、高濃度水素ガスパージ環境のすべてにこれ1台で対応することができます。

VSS-450-300
装置サイズ:504 x 504 x 580 mm (WxDxH)
装置重量:約95 kg

簡単温度プロファイル設定

7インチタッチパネルを標準搭載。別途外部PCを必要とせず、タッチパネル上で任意の制御プロファイルプログラムの作成、保存が可能です。
最大50ステップの温度制御プログラムを、50プログラム登録、実行することができます。また、SDメモリーカードへの実験データ保存機能を標準搭載。
SDメモリーカード経由で、任意のPCに実験データを移動することも簡単です。

垂直チャンバー開閉

チャンバーの開閉は、両サイドのボタン操作によるマニュアルモードのほか、外部信号による自動開閉にも対応しますので、インラインへの組み込みも自由自在です。

VSSタッチパネル画面例

VSSタッチパネル画面例

VSS加熱プレート概要

VSS加熱プレート概要

モデル VSS-450-300 テクニカルデータ

項目 仕様
加熱プレートサイズ 310 mm x 310 mm x 50 mm ※VSS-EHオプション搭載:高さ120 mm
最大到達温度 450℃
最大昇温速度 100 K / 分以上※上部IRヒーターモジュール搭載時:350 K / 分以上
加熱方式 赤外(IR)ヒーター(放射熱方式)
最大降温速度 100 K / 分
冷却方式 アクティブ水冷方式
耐久真空度 0.1 Pa(10-3 hPa)
ガス供給ライン 1系統MFC(マスフローコントローラ)※最大4系統装備可能
装置コントローラ 7インチタッチパネルコントローラ(SIMATIC製SPSコントローラ)
温度プロファイル
プログラム
最大50ステップ(セグメント)
プログラム登録可能数 最大50プログラム
テストデータ保存先 SDメモリーカード(タッチパネルコントローラにSDメモリーカードスロット装備)
外部インターフェース Ethernetインターフェース(LANに接続可)
電源仕様 三相200V 50/60Hz 最大30 A

モデル VSS-450-300 の主なオプション

オプション 仕様
VSS-FA ギ酸ガスモジュール
VSS-MFC 追加ガスライン用マスフローコントローラ
VSS-H2 with H2S 高濃度ガスモジュール、及び爆発防止安全対策オプション
VSS-FT フラックストラップオプション
VSS-PT ケミカル性ガス吸着フィルター
VSS-EH 標準50 mmのチャンバー高さを、120 mmに変更するオプション ※観察窓付き
VSS-OxAtAn 残留酸素濃度測定オプション ※タッチパネル上に測定値表示、データ保存可
VSS-VM チャンバー内部の真空度測定オプション ※タッチパネル上に測定値表示、データ保存可
VSS-SW 真空ポンプ自動ON/OFF用スイッチボックスオプション
VSS-RVP-C 耐ケミカル性ロータリー式真空ポンプ ※真空到達度0.6 Pa(オイルミスト付)
VSS-HVP ターボ分子真空ポンプ ※真空到達度10-4 Pa
VSS-WC II クローズドループ型冷却水循環装置(チラーユニット) ※冷却能力:2.7 kW

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