ギ酸還元・水素還元 両対応 卓上型真空はんだリフロー装置 RSSシリーズ

2016年3月23日

フラックスレス・ボイドフリー・ギ酸ガス・水素ガス対応 真空はんだリフロー装置

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RSS-3×210

試作開発用途に最適

「卓上型真空はんだリフロー RSSシリーズ」は、試作開発や少量生産に最適な1台です。エンジニアリングチームが「省スペース」、「低価格」にターゲットを絞って製品設計を行いながらも、真空はんだリフロー装置に必要不可欠な機能をすべて盛り込みました。

従来の大型なリフロー装置ではスペースの問題があり、研究所や実験室などに設置することが困難でしたが、卓上型真空はんだリフロー装置 RSSシリーズは、小型の机1台分のスペースがあれば簡単に設置することができます。そのため、大型のリフロー装置を備えている工場にセットアップなどの煩わしさを与えることなく、いつでも気軽にリフロー実験を行うことができるようになります。

また、PID方式の温度コントローラが装備され、正確で安定した温度制御ができるだけでなく、標準添付のWindows®版制御ソフトウエア「UniSoft」を使用することで簡単に温度プロファイルプログラムを作成、保存することが可能な上、

  • 真空環境
  • 窒素ガス(N2)パージ環境
  • フォーミングガス(N2+H2)パージ環境
  • 100%水素ガス(H2)パージ環境※オプションのRSS-H2 / RSS-H2Sモジュールを装備した場合
  • ギ酸ガス(N2+HCOOH)パージ環境※オプションのRSS-FAモジュールを装備した場合

など、多彩な環境下でのはんだリフローを行うことができます。

rss110-320
RSS-350-110
rss-350-210
RSS-350-210

RSSシリーズの特徴

void-free
減圧下リフローでボイドを除去
還元ガス (ギ酸や水素) によりはんだの流れ性を確保
最大到達温度450℃
標準システムでの最大到達温度は350℃ですが、オプションのRSS-HTを装備することで最大到達温度450℃を実現できます。
高速昇温/降温に対応
高速赤外線ヒーター(IRヒーター)装備のモデルでは、毎分240℃ (毎秒4℃) の高速昇温を行うことができます。また同時に、高速降温を実現する「水冷システム」を標準装備。はんだリフローに必要な温度制御プロファイルを簡単に実現できます。
真空、窒素、ギ酸、水素などのリフローに対応
真空環境、窒素ガスパージ環境、フォーミングガス (水素+窒素混合ガス) 環境のほか、「ギ酸ガス環境」や「高濃度水素ガス環境」にも対応します。
簡単温度プロファイル設定が可能
RSSシリーズに標準添付されている、Windows®ベースの温度プロファイル作成・制御ソフトウエア (UniSoft®) を使えば、昇温速度、プリヒート温度や維持時間、リフロー温度や維持時間、また降温速度など、リフローに必要な設定が簡単にできるほか、真空ポンプやチャンバー内に流入させるガスのON/OFFも同時に設定できます。
のぞき窓を標準装備
チャンバー上部にのぞき窓が標準装備されていますので、リフロー中の対象物を観察 することができるほか、CCDカメラなどを用意すれば、写真やビデオを撮影することが できます。

16段階の温度制御プロファイル

pc_01RSSシリーズには、正確で安定した温度制御を実現するためのPID方式温度コントローラが装備されており、最大16段階(セグメント)の細やかな昇温、降温(冷却)の温度プロファイルプログラムを登録することができます。

また、その温度プロファイルプログラムは、標準添付されている制御ソフトウエア「UniSoft」でどなたでも簡単に作成、保存していただくことが可能です。

一般的なホットプレートとは異なり、加熱プレートの裏側に水冷板を配置しているため、温度プロファイルプログラムの内容に従って、高速降温させることを実現しています。

リフロー中のモニター機能

pc_csvリフロー中の観察を可能にするため、RSSシリーズでは全機種、観察用ののぞき窓をチャンバーの蓋中央に設けています。

また、温度プロファイルプログラム通りにチャンバー内の温度が制御されていることを確認するため、標準添付のソフトウエア「UniSoft」の画面上に、設定された温度プロファイルグラフの他、リアルタイムに加熱プレート上の現在温度を別色のグラフを上書き表示します。

また、真空ポンプ、パージガス、プロセスガスの各配管に設置されているバルブのON/OFF状態も確認することができ、プロセス終了時には、テストデータをCSV形式で保存することもできます。

ギ酸還元・水素還元 両対応 卓上型真空はんだリフロー装置
RSSシリーズ装置一覧

基本仕様

モデル RSS-xxx-110rss110-320S RSS-xxx-160rss160-320S RSS-xxx-210rss-350-210S RSS-xxx-310rss310S RSS-3×210rss-3-210-210S
特徴 RSSシリーズ最小モデルで、110 x 110 mmの加熱プレートを装備しています。外付けの制御BOXがセットになっています。 小型チャンバーサイズのモデルで、160 x 160 mmの加熱プレートを装備しています。外付けの制御BOXがセットになっています。 中型チャンバーサイズのモデルで、210 x 210 mmの加熱プレートを装備しています。本体内に制御機能をすべて内蔵しています。 RSSシリーズ最大モデルで、310 x 310 mmの加熱プレートを装備しています。本体内に制御機能をすべて内蔵しています。 中型チャンバーのモデルを横方向に3連したモデルで、630 x 210 mmの加熱プレートを装備しています。本体内に制御機能をすべて内蔵しています。
ヒーター
プレートサイズ
110 x 110 mm
(チャンバー高さ:40 mm)
160 x 160 mm
(チャンバー高さ:40 mm)
210 x 210 mm
(チャンバー高さ:40 mm)
310 x 310 mm
(チャンバー高さ:40 mm)
630 x 210 mm
(チャンバー高さ:40 mm)
標準ヒーター
種別
カートリッジ型ヒーター 赤外線(IR)型ヒーター
のぞき窓 標準装備
最大到達温度 350℃(標準仕様:RSS-350-110)
450℃(オプション仕様:RSS-450-110)
350℃(標準仕様:RSS-350-160)
450℃(オプション仕様:RSS-450-160)
350℃(標準仕様:RSS-350-210)
450℃(オプション仕様:RSS-450-210)
350℃(標準仕様:RSS-350-310)
450℃(オプション仕様:RSS-450-310)
300℃(標準仕様:RSS-3×210)
最大昇温速度 毎分95 K 毎分90 K 毎分210 K 毎分135 K 毎分105 K
最大降温速度 毎分95 K 毎分95 K 毎分110 K 毎分80 K 毎分105 K
※チラーユニットが別途必要です
チャンバー
耐真空度
10-4 Pa(10-6 mbar)
供給ガスライン 最大2系統(1系統は標準装備) 最大4系統(1系統は標準装備) 最大2系統(1系統は標準装備)

※モデル RSS-3×210は、ウエハー用リフトピンを装備できます

オプション

オプション
コード
内容
RSS-FM アナログフローメーター付き、マニュアル流量調整型追加ガスライン(RSS-110/160のみ)
RSS-FM-EL デジタルフローメーター付き、マニュアル流量調整型追加ガスライン
RSS-FM-ELUP デジタルフローメーター付き、マニュアル流量調整型追加ガスラインへのアップグレード
(RSS-110/160のみ)
RSS-MFC マスフローコントローラ付き、追加ガスライン(最大2系統まで)
RSS-EH チャンバー蓋高さ80 mmへの変更オプション(標準仕様は40 mm)
RSS-FA ギ酸ガスモジュール(ギ酸ガスを使用できるようにするためのオプション)
RSS-H2 100%水素ガスモジュール(100%濃度の水素ガスを使用するためのオプション)
RSS-H2S 100%水素ガスモジュール用、安全対策オプション(RSS-H2使用時には必須のオプション)
RSS-HT 最大到達温度450℃へのアップグレードオプション(標準仕様は350℃)
RSS-IL インターロックオプション
RSS-TC 外部熱電対取付用コネクタオプション ※別途、温度計かデーターロガー装置が必要
RSS-VM 真空度測定オプション ※標準添付のソフトウエア(UniSoft)で真空度のモニター、及び記録が可能
RSS-2604 最大100段階(セグメント)の温度プロファイルプログラムを使用できるようになります
RSS-MP マノメーター付き、ダイヤフラム型真空ポンプ 最大真空到達度:100 Pa
RSS-RVP マノメーター付き、ロータリー型真空ポンプ 最大真空到達度:0.6 Pa
RSS-HVP ターボ分子型真空ポンプ 最大真空到達度:0.0001 Pa
RSS-WC I RSS-110、RSS-160、RSS-210用チラーユニット
RSS-WC III RSS-310、RSS-3×210用チラーユニット

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