FPD用プローバー
FPD（フラットパネルディスプレイ）用プローバー
10.4インチサイズまでの小型FPD（フラットパネルディスプレイ）に対応した、プローブシステムです。
10インチ全エリアにおいてサブミクロンパターンへの安定プロービングが可能です。
オプションで、ソーラシミュレータによるパネル表面への光照射、超高輝度白色LEDによるパネル裏面への光照射が可能です。
FPD用マニュアルプローバー
特徴
- 220×160mm エリア全面プローブコンタクト可能。
- 太陽光線下、バックライト照射時のTFT特性評価に対応。
- 角型ホットチャック（室温～+300℃）、または角型サーマルチャック（-60～+300℃）搭載可。
- サブミクロンパターンへの安定プロービング。
- fAレベルの微小信号測定に対応、精確なオフ電流評価が可能。
- レーザーカッター、エミッション顕微鏡の搭載に対応。
※大型パネル対応プローバやセミオートタイプの製作も承ります。
仕様
| 型式 | HMP-1010FPD |
|---|---|
| 対応サンプルサイズ | ～220×160mm□ |
| ステージX-Y移動範囲 | X 250 ×Y 250mm |
| 顕微鏡X-Y移動範囲 | X 250 × Y190mm |
| プラテンZ軸動作範囲 | 0～20mm |
| ソーラシミュレータ照射照度 | ～1.5 SUN（1,500W/m2） ＠40mm□ |
| バックライト輝度 | ～40,000cd/m2 ＠45mm□ |
| ポジショナ最大搭載台数 | 8台 |
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