小型マニュアルプローバー

ハイソル株式会社

個片チップから小径ウェハ（4インチφ または6インチφ）の測定に最適な研究開発向け小型プローバーです。
お求めやすい価格帯で、微小信号I-V，C-V測定，40GHzまでのRF測定に対応します。
シールドボックスや加熱チャックをはじめ、様々なオプションが用意されており、拡張性に優れています。

小型マニュアルプローバー製品例

概略仕様

微小信号測定能力

下記のプロットは、弊社が提供するプローブシステムのプローブおよびチャックに-200Vから+200Vの掃引電圧を印加し、その際の電流値を測定した結果です。
その測定結果は-200Vから+200Vの全てのレンジにおいて、±100fA未満のノイズおよびリーク電流を示しており、弊社が供給するプローブシステムが、1pA以下の測定確度を必要とする微小信号測定アプリケーションに対応していることを証明しています。