CVD成膜装置

シラン蒸着装置　YES-1224

YES

真空ベーク/蒸気プライムによるシラン蒸着表面加工装置です。

チャンバー内でのプロセスで安全性が高く、薬液使用量が他のコート方式と比較して飛躍的に削減出来ます。

クリーンな環境下で半導体ウェハー、理化学用マイクロアレー等に親水性、疎水性をコントロールするシランを均一性よく蒸着致します。

YES社独自のプロセスによりプラズマクリーニング、水分除去、蒸着(成膜)を400m3の大型チャンバー内で自動処理します。
塗布方式と比較し薬液量を99％削減出来ます。
使用可能なシランはHMDS(ヘキサメチルジシラザン)をはじめアミノシラン、メルカプトシラン等いくつかのシラン対応しております。

※詳細な使用可能シランに就いては弊社にお問合せ下さい。