プラズマストリッパー

YES-CV200RF及びRFSはプラズマを用いたストリッピング装置。

従来のエッチング方式と比較して薬液を使用しないプロセスで、安全性向上また、スループットが高くプロダクションに最適。

ストリップレート6000～7000Å対象物に最適な処理条件を設定出来ます。