真空ベーク・ベーパープライム

ベーパープライム処理装置 YES-5TA/3TA

YES

ウェハー表面処理及びベーパー式によるHMDS蒸着。

スピンコート式に比べHMDS消費量、安定性が飛躍的に向上。
経済性と安全性に貢献。

YES社独自のプロセスによりクラス10洗浄度中で加熱、真空、窒素パージを繰り返し、ウェハー表面の水分除去及び改質を行い、HMDS（ヘキサメチルジシザン）を蒸着。
8TAシリーズはイメージリバーサル、シリカ処理が可能。