半導体 / FPD用高周波対応LCRメータ

ヘッドアンプ脱着可能

ヘッドアンプは本体と脱着できます。
本体～ヘッドアンプ間はケーブルで接続し、ヘッドアンプを被測定物の近くに設置することで測定リードの影響を防止できます。
また、ヘッドアンプの交換で容易に測定範囲が変られます。

広範囲な測定周波数

100kHz～120MHzの広範囲における周波数帯域を4桁分解能で設定可能。

最速6msの高速測定

FAST/NORMAL/SLOW/SLOW2の4段階のサンプリング速度の切り換えができ、最速約6ms(｜Z｜表示時)の高速サンプリングでラインの効率化が可能です。

14種類のパラメータ測定

｜Z｜、｜Y｜、θ、Rp、Rs(ESR)、G、X、B、Lp、Ls、Cp、Cs、D(tanδ)、Qのパラメータを測定でき、必要なパラメータをパソコンに取り込む事も可能です。

30通りの測定条件をメモリ

30通りのコンパレータ条件を含む測定条件をメモリでき、繰り返し測定が多いラインでの試料切り換え時に敏速な対応ができます。
また、複数の測定条件をメモリし、5通りの連続実行が可能。

タッチパネルの対話型操作

変更したい項目をパネルに触れるだけで、必要な項目だけが順次表示される対話型の容易な操作を実現。

ロード補正機能

基準となる試料を測定し、測定値を補正することができます。この機能で機器間の測定値を合わせることができます。

BIN(分類)測定

2種類の測定項目について最大10分類測定ができ、測定値によるランク分けが容易にできます。