PM5 卓上型精密研磨装置

PM5はシングルステーションでベンチトップ型のR&D用ラッピング及びポリッシングマシンで、4″までの少量生産用ウエハ処理に適しています。
このシステムは再現性のある優れた品質の表面仕上げのサンプルをつくる能力をもっています。
分り易いコントロールシステムを組み込んだ精密なプレートのセットアップオプションにより、高精度の一貫した結果が容易に得られます。

PSM研磨冶具(右写真)を使用することにより、無人研磨が可能になります。
PSM研磨冶具は、研削量をセットすることができ、セットされた研削量に達した時、研磨装置はPSM研磨冶具からの信号を受信し、自動的に装置を停止することができます。
その為、オペレーターは処理中、安心して現場を離れることができます。
何らかの理由で装置が停止したとしても、データは保存されるので、操作を再開した時、既存のポイントから測定することが可能です。また、セットした研削量に近づくと、アラームが鳴り、プロセスの完了が近づいていることをお知らせします。

• PP6(最大4インチ)
• PP4(最大3インチ)
• PP8(最大6インチ）※LP50のみ

【特長】

• 可変荷重
• 研削量のデジタル表示(アナログも可)
• 真空チャック(メカ固定タイプも有り)
• 角度調整

プレートは容易に交換ができますので、ラッピングプレートの交換やラッピングからポリッシングへの切り替えも迅速に行えます。

ガリウム砒素やChemloxのような危険性又は腐食性のある物質を使用するアプリケーションに対応するために、PM5システムは化学的に耐性のある構造にもできます。
これによりシステムを厳しい作業条件でも腐食することなく使用することができます。

研磨剤自動供給システムにより、調節可能なスラリーシュートを通して、シリンダーからラッピングプレートまでの研磨剤スラリーの流れを精密にコントロールします。

オプションの赤外線ドリップディテクターはシリンダーが空になるか又はバルブが閉じている場合にプレート回転を自動的に停止し、サンプルがスラリーの無いプレートを走ることによる損傷を防止します。
更に、プレートの下の取り外しできるドリップトレーは使用した研磨剤スラリーを受取り、除去して、余分なマシンクリーンアップ作業を少なくします。