PSM プログラム式ラッピング＆ポリッシング用冶具
まえがき
Logitech PSMプログラム式サンプルモニターは、PP5, PP6及びPP8精密研磨冶具用の高精度サンプルモニターリング装置で、プログラムで指定した厚みで自動的にサンプルを加工、処理する為の有効的な方法です。
サンプル処理完了前に作動する警報アラーム機能及びオプションの赤外線によるマシン停止により、PSMは装置を無人化できるので、オペレータは他の作業を行えます。
構造
PSMはサンプルモニター及びデジタルソニアゲージ(DLG)で構成され、通常PP5, PP6またはPP8冶具に取り付けられている機械的ダイアルゲージの代わりにもなります。
両方とも冶具上に直接マウントされ、簡単な方法で既存の冶具に取り付けられます。
サンプルモニターは薄膜コントロールパネルでシールされており、デジタルゲージの読取り分解能は1μmです。
このユニットはPSMの主要な動作のすべてをコントロールします。
DLGはチャック面位置の絶対読み取りを行い、それをサンプルモニターは伝えます。
ユニットの電源は充電式バッテリーで冶具のトップの手の届く場所に収められております。
操作
冶具をラッピングまたはポリッシングマシンの上に置く前に、材料の研削量をサンプルモニターに入力します。
それから、冶具をマシンに取り付けて、RUNボタンを押すと、サンプルモニターはデジタルリニアゲージのゼロ基点を取り、材料研削量を表示します。
この情報は全てプロセスを通して表示されます。
何らかの理由でマシン操作を停止した場合、材料の除去量及びプリセット値がモニターにストアされるので、操作を再開したとき、測定は既に達したポイントからスタートします。
所要の除去量に近づくとアラームが鳴り、完了が近いことをお知らせします。
或いはオプションの赤外線受信装置が装着されている場合は、プリセット量が研削された時に、モニター装置の赤外線発振器がマシンを停止します。
これらの機能により、特に複数の冶具を使う大きなシステムの場合に、オペレーターが個々のサンプル処理の進行をモニターでき、マシンのダウンタイムを最小限にできます。内蔵の充電式バッテリーは18時間使用でき、充電には約3時間掛かります。
スペアバッテリーセットが支給されており、24時間稼動する際に有効的です。
バッテリーの交換、または充電が必要な場合は“battery low”LED表示が点灯してお知らせします。
PSMの丈夫な構造が生産及び研究環境の両方に適しています。
アプリケーション
PSMは1μm以内の精密にコントロールされた最終仕上げの、高度に均一なサンプルを生産する必要があるすべてのアプリケーションに理想的です。
代表的なアプリケーションは超薄セクションの生産、半導体ウエハー、光電子材料のバックラッピング及びポリッシング、またはクリスタルの表面処理、角度のあるサンプル表面の処理等です。
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